713 搞出光刻机,挺直腰杆子(4k)

  重生千禧大玩家正文卷713搞出光刻机,挺直腰杆子“狼烟起,江山北望……”

  酒店里,喝到烂醉如泥的高媛媛被手机铃声吵醒,迷迷糊糊地抬头找了找,声音来自床头柜上的手机,但手机的主人,不见踪影。

  “阿飞。”

  高媛媛强撑着下床,走路绵软无力。

  “我在这儿。”

  陆飞打开浴室的大门,坦荡地冲她笑了下,接过手机,“喂、欣姐。”

  高媛媛洗了把脸,然后脱掉衣服,走进淋浴间冲洗自己,流水声哗哗作响。

  “好,好,10点我就出发。”

  陆飞坐在浴缸里,悠悠道:“欣姐,TVB这边,就麻烦你陪媛媛处理了。”

  高媛媛听到这话,精神大振,竖起耳朵。

  “……欧洲那边,不用担心,我已经让布洛森24小时盯着,任何风吹草动都要汇报。”

  陆飞抹了一把脸。

  希腊的国债评级又被惠誉和标准普尔下调,降到了垃圾级,已经到了必须欧盟兜底的地步,终于把债务危机扩散到整个欧元区。

  收割欧洲的时刻,马上就要到了!

  等两人聊完挂断电话,高媛媛才走出玻璃隔断,幽幽说:“阿飞,我今天就不送你去机场了,唔,有点不舒服。”

  “谁让你昨天喝了那么多酒。”

  陆飞抓着她的手,拉入浴缸里。

  心疼之余,不得不感慨高媛媛醉得真是时候,而且还不省人事,要不然也不能给自己创造机会,夜里能跟曾丽单独庆祝封后之喜。

  大满贯最好的奖励,自然也是大满灌。

  ”下次不会了。”

  高媛媛意味深长地白了眼,“曾丽姐她们有没有跟你说今天坐你的飞机去鹏城。”

  “说了……吗,我怎么不知道。”

  陆飞一个激灵。

  “那我现在跟你说,你不会介意吧?”

  高媛媛得留下来,跟徐欣完成TVB最后的收购签约仪式,杨蜜、景恬则继续自己的好莱坞征程,而曾丽、刘师师她们回内地。

  “怎么会。”

  陆飞笑道:“不过我听说师师拍完《步步惊心》之后,状态不对,有没有这回事?”

  “蜜蜜、恬恬她们跟你说的吧。”

  高媛媛点了下头,“师师可能陷进角色里还没有出来,对吴奇龙的感情有点复杂。”

  “这可不符合我们‘四小花旦’的造星计划。”陆飞一本正经地说。

  “放心吧,虹姐已经警告过吴奇龙团队。”高媛媛靠在他的怀里,“早餐叫了吗?没有的话,吃了再走吧。”

  “当然吃了再走,不过呢,先吃你!”

  陆飞嘿然一笑,“把昨天的夜宵补上。”

  “呜呜呜~”

  跟曾丽她们暂时分别,陆飞坐上车,马不停蹄地赶到逻辑,孙红军早就在门口等候。

  “他们人呢?”

  “陆总,都在中心呢。”

  一行人驱车来到僻静的三体实验基地,沿途布满了安保人员,路的尽头是一间占地上万亩的新建厂房,表面看上去,非常不起眼。

  一下车,来到换装间,陆飞就看到已经穿着防尘服的梁孟松、尹志尧,以及职工。

  苏姿丰、胡煜华、孟婉舟这些逻辑的上将,即便半步踏入轮值董事会,也没有资格第一时间参观,消息还封锁在最高统帅部一级。

  “陆总。”

  梁孟松、尹志尧等人喊了一声。

  “走吧。”

  陆飞换好装备,穿过走廊,墙壁上挂着华夏第一枚原子弹跟氢弹的当天报纸和照片。

  头顶,悬挂着一条条横幅,都是激励士气的口号语,其中最显眼的莫过于——

  “搞出光刻机,挺直腰杆子!”

  “陆总,这就是我们自主研发的65nmArF干式光刻机,由逻辑、沪市微电子、长春光机、华为等多家单位、上千家供应商联合攻克,下一步就是预生产,在生产中不断改进完善,然后逐步实现量产化。”

  孙红军兴奋至极,“预计一到两年,就能全部替代掉ASML和尼康的65nm光刻机。”

  “还是自己的机器香啊!”

  陆飞透过玻璃,看着工作人员有条不紊地操作,余光里注意到尹志尧等人的情绪很不对劲,“这么难得的好日子,你们怎么看上去不是很高兴啊,难道是光刻机还有什么质量上的问题,或者技术上的缺陷?”

  “陆总,设备没有问题,技术也没有问题,就是……就是有一个坏消息……”

  尹志尧一脸为难。

  “什么坏消息?”

  陆飞鼓励道:“没关系,说出来,不说出来,我们又怎么想办法解决呢?”

  “陆总,ASML研发出了全球第一台EUV光刻机,已经送到三星的研究机构预生产。”

  尹志尧无奈地叹了口气。

  “你看你,又急。”

  陆飞挑了挑眉,倍感意外,这么凑巧!

  EUV光刻机的出现,相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代,遥遥领先于他们。

  第一代光刻机是以436nm的g-line汞灯光源为主,只适用于5μm以上制程。

  之后出现了365nm的i-line汞灯光源的第二代光刻机,制程精度来到了350到500nm。

  这两代都只能算是接近式光刻机,到了第三代扫描投影式光刻机,才实现了跨越式的突破,把最小工艺推进至150到250nm。

  他们生产的65nmArF干式光刻机,算是第四代,也就是步进式投影式光刻机,制程工艺最高可以推进到65nm,想要更上一层——

  就得用到浸入技术,也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中,在此基础上,就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。

  本来,逻辑跟ASML这些国际一线的光刻机厂商,就只剩ArFi这么个半代差距。

  但EUV光刻机一出现,又把这个差距拉到了至少1.5代,而且这个技术差距,不像制程工艺那么好追,是整个产业链的全面落后。

  “不是我急,陆总,一旦EUV预生产成功的话,英特尔、三星、台积电也许不出三五年,就能得到EUV光刻机的生产线……”

  尹志尧话里无不透着焦虑。

  “尹教授,这台EUV,ASML、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来?”陆飞透过面罩的玻璃,直直看去。

  “从林本坚提出浸润式微影技术的理论,到现在,大概十三、十四年。”

  梁孟松站出来回答。

  “对嘛,这不就结了。”

  陆飞拍了拍尹志尧的肩膀,“EUV集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才,也要花13年的时间,何况是我们呢!”

  “陆总说的没毛病!”

  孙红军机敏地当捧哏。

  “咱们研究起步晚,技术经验积累少,人才还不够不精,再加上特么的技术封锁,能在这么短的时间,攻克65nmArF干式光刻机,就已经很不正常了,再快就该拍科幻片了。”

  陆飞笑道:“落后不可怕,可怕的是不追赶,你看我们现在,已经步入正轨了。”

  “可不是嘛,快赶上小霓虹了!”

  孙红军嘿然一笑。

  就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能,在光刻机路线上,不去梭哈湿刻法,而是全力押注干刻法,却失败了,白白耗费人力财力时间。

  今后,逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场,先干翻了小霓虹!

  “所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先别急,ArFi会有的,EUV也会有的!”

  陆飞环顾四周,激励士气。

  “陆总!”

  尹志尧郑重地点了下头,他作为中微半导体的领军人,非常清楚逻辑是两条腿走路,既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机,又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。

  而且满世界找帮手,比如徕卡。

  “老孙,这次的奖励方案做出来了嘛?”

  陆飞侧目望向孙红军。

  “已经拟出个初步方案,就等您来定。”

  孙红军应了一声。

  “嗯,但凡这次参与光刻机项目的,哪怕是拧了个螺丝的,也要多发奖金!”

  陆飞双手叉腰,“65nm有了,还怕没有ArFi?没有EUV?接下来我们就向32nm、28nm,甚至28nm以下的发起冲击,不管是10年、20年,还是多长时间,也要搞出来!把这颗工业明珠给我摘下来,当弹珠卖!”

  “我就是怕耽误了先进制程工艺的进程,毕竟我们买不到最先进的DUV光刻机。”

  尹志尧脸上露出一丝愧疚。

  “梁博士,你的意思呢?”

  陆飞把目光投向梁孟松。

  “陆总放心,难度肯定是有的,但我可以保证,32nm,今年下半年就能风险性试产。”

  梁孟松话锋一转,说出难题。

  芯片代工制造的过程非常复杂,需要多方面的技术和设备支持,就像14nm是个关键的分界线,28nm也是个关键的分界线。

  但设备还不是他最担心的,他最担心的是中芯被台积电打倒之后,下一个就轮到逻辑。

  “这种情况我不是没有考虑。”

  陆飞摆了摆手:“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电,就是让章忠谋顾虑,既想对付我们,又怕失去我们的订单。”

  “可按我对章忠谋的了解,肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道,“另外还有三星……”

  陆飞笑道:“梁博士,三星现在的技术负责人还是蒋尚义,哪怕拿到了EUV光刻机,你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗?”

  “没有!”

  梁孟松想也不想,“没这个可能!”

  “对嘛,就连40/45nm工艺,三星还是靠我们,很难说不会又在一个节点上卡住,难以突破。”陆飞严肃说,“这么一比,台积电才是我们最大的敌人!不管现在,还是将来!”

  “台积电那边计划今年过渡到32nm,然后最早在明年转向28nm,我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。

  “梁博士,假如,我是说假如,假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片,假如逻辑还造不出比较先进的光刻机,假如……”

  陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。

  “陆总,这种极限施压情况下,也不是没有办法,可以考虑多重曝光技术。”

  梁孟松沉吟片刻,一一列出优缺点。

  尤其是缺点,虽然经过多重曝光工艺,可以改变光刻机的制程极限,但良品率低。

  而且每次曝光都需要校准,而对准误差会在多次曝光中积累,进而影响芯片的质量。

  “除了损耗,就是成本,多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备,这个投入可能……”

  不等梁孟松往下说,孙红军突然打断。

  陆飞和他相视一笑,光刻机的光刻胶等材料,早就纳入备胎计划。

  “梁博士、尹教授,我们已经投资了博康化学等十几家公司,研发攻克光刻胶这些重要材料。”孙红军笑说,“而且找了德国的明斯特、亚琛工业等多家高校,跟我们国内的科研院校,合力打破霓虹这方面的优势。”

  “啊?”

  梁孟松和尹志尧面面相觑。

  “这是公司的绝密,注意保密。”

  陆飞郑重地叮嘱,现在需要偷偷摸摸地发育,特别是光刻机,最缺的就是发育时间。

  “陆总,孙总,你们放心!”

  梁孟松信誓旦旦地保证,就算台积电、三星的光刻机领先逻辑,哪怕制程工艺先突破28nm,甚至20nm也无妨,他能想办法从28nm,跨越22nm、20nm,直接到14nm。

  把因为光刻机设备和技术封锁而落后的代差跟时间,统统给追回来!

  “是不是又要跳代?”

  陆飞把眼睛眯成一条缝。

  梁孟松点头说:“只要尹总能造出28nm光刻机就够了,别是14nm,就是7nm,我也能你们给搓出来!把光刻机上的劣势给扳回来!就是不知道陆总敢不敢再跟我拼一次?”

  “有什么不敢?”

  “拼,只管给我拼!不要给我心疼钱,我最不怕花钱,但最怕你们不花钱。”陆飞睨了眼孙红军,“老孙,除了德国,霓虹那边也盯紧点,特别是佳能、尼康的动静。”

  “尼康那边好像认命了,倒是佳能,选择了另一条道路,研究纳米压印。”

  孙红军也说不出个所以然。

  陆飞让他再探再报,跟进佳能的NIL路线,然后冷不丁来一句,“光刻厂有没有搞头?”

  “什么?!”

  梁孟松等人一脸震惊。

  光刻厂?

  只听过光刻机,光刻厂是什么东西?

  “咳咳,我是这么想的,ASML的光刻机,为了卖出去,才要小型化、产品化、量产化,这个难度很大,但如果我们把光刻机不做小,而是当基础设施来盖,比如一个足球场大小,是不是可以弥补光源、镜片这些问题?”

  陆飞看他们一脸茫然,于是换种说法。

  相当于造不出热水器,就建个锅炉房,然后接水龙头,一次性接十几个,能放出428nm、14nm、7nm这些不同温度的水。

  “这个提法,我好像在哪里听过……”

  梁孟松吸了一口气,思索了片刻,突然灵光一现,“对,水木!水木大学有篇论文!”

  “真有?”

  孙红军、尹志尧简直不敢相信。

  “不过只是一个概念,叫稳态微聚束加速器光源,也叫SSMB。”梁孟松解释说,“我关注这个,还是因为提出这个概念的教授,是杨振柠先生的弟子,可行性还有待检验。”

  “只要有可能,就值得投资。”

  陆飞计划去趟水木大学,顺便把自己存那里一直没时间取的EMBA硕士证书给领了。

  “陆总,在这之前,我们是不是先去见见章汝京?章总一直在等您从香江回来。”

  孙红军提醒了句,年初中芯跟台积电长达六七年的国际诉讼,达成和解,但作为条件之一,章汝京不得不被迫辞职,离开中芯。

  “Emmm,见,必须见!”

  陆飞叮嘱安排两人见面的行程计划。

  有个项目,非他这位老帅不可!

  

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